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激光蚀刻机地如何运作的，你有过了解吗？

发布时间:13-09-13 关注次数：

激光蚀刻机由飞秒激光光源，精密的3轴定位台和扫描镜组成。它的激光蚀刻系统由激光微加工系统软件控制，简单的3D模型通过这种软件即可生成，对于比较复杂的3D模型，用户可以通过Autodesk, AutoCAD等软件制作，然后导入到三维光刻机的软件中。下面富隆将为大家详细讲解有过激光蚀刻机的工作原理：

1、待刻录的图形通过激光蚀刻机精密的激光聚焦系统直接从CAD设计中导入到光刻胶上。

2、聚合物的双光子或多光子吸收用于形成高Zhi量表面的3D结构。小于100nm的尺寸可自形成结构，200nm-10um尺寸的结构可以控制并重复，这套激光蚀刻机提供纳米尺度分辨率和对聚合物的广泛选择，从而可以适合微纳光学,微流体,MEMS,功能表面制作等各种应用。

3、与CAD设计等同的3D结构形成后，未固化的光刻胶剩余物由有Ji溶剂洗掉,这样只留下蚀刻的微纳结构呈现在基板上。