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真空蚀刻机不可避免的一些小缺陷

发布时间:13-09-16 关注次数：

真空蚀刻技术拥有非常巨大的应用潜力，因为它特别适合微细线路、超微细线路的加工。早期的针对50微米以下线宽的实验，其结果就显示了该技术十分有价值，到底这项技术是否适合厚铜线路的加工，也经过了更深入的审视和讨论，目前所有迹象表明的都非常令人鼓舞。特别有意义的是，通过实验验证，应用该技术的蚀刻机不仅可以使用传统的氯化铜蚀刻液生产，而且可以使用目前在亚洲越来越流行的三氯化铁蚀刻液进行生产，虽然这种蚀刻液需要更长的加工时间，但可以获得更垂直的线路侧壁。

但是实际的蚀刻结果还要受生产工厂具体的一系列其它因素的影响。例如干膜的厚度的影响，曝光和显影过程的质量对蚀刻结果的影响，铜厚度对蚀刻结果的作用等等，这些条件都扮演着重要角色，总的来说，根据经验，有50%的蚀刻效果是由蚀刻过程和蚀刻液的交换情况决定的。